在线式真空等离子清洗机基本参数:
| 型号 | 在线式真空等离子清洗机 |
| 处理时间 | 2-3分钟/循环 |
| 输入电压 | 220V±10%（AC）50-60HZ |
| 输出功率 | 2 * 1KW |
| 输出电压 | 8000-12000AC |
| 工作环境温度 | -10℃-30℃ |
| 工作环境湿度 | 20%-90% |
| 工作频率 | 40KHz |
| 产能 | 两层托盘，尺寸定制 |
| 抽真空时间 | ＜40s |
| 真空度 | 5-100pa(可调) |
| 传送装置 | 三段式轨道，上下两层中转（可根据需求定制） |
| 真空泵组 | 油泵/干泵+罗茨增压泵 |
| 可增变冷水机组 | 可选配 |
| 自主研发控制软件 | 生产信息统计，MES系统对接、工艺参数调节等功能 |
| 工艺气体 | 5路工作气体可选：Ar2/N2/H2/CF4/O2 |
| 气源 | CDA 0.5MPa- 0.6MPa，气压报警装置 |
| 腔体温度 | ＜30℃ |
| 有效处理宽幅 | 200mm-2000mm（可定制） |
| 等离子发生器频率 | 40KHz/13.56MHz/2.45GHz（选配） |
| 传动电机 | 86伺服马达 |
| 喷头运行方式 | 往复式 |
| 喷枪火焰长度 | 10mm-30mm |
| 输入气压报警 | 菜单+声光报警 |
| 射频电源 | 13.56MHz |
| 温度检测装置 | 设备加装有温度扫描仪，能实时监测到 |
在线式真空等离子清洗机产品特点：
在线式真空等离子清洗机可以实现温度、真空值、反应气体实时检测；
整机采用PLC微电脑控制系统，无缝对接MES系统；
适合各种形状产品，通用性高；
合理的等离子反应空间，使处理更均匀；
良好的安全性，多功能安全保护；可根据客户需求定制。
自动进出料，可对接原有生产线，实现自动化在线生产；
在线式真空等离子清洗机机器介绍:
反应仓
为了满足快速高效的工业生产,并基于对产品的需求,将等离子反应仓设计为小型长方体,反应仓体内部尺寸,一方面减少了抽真空和压力平衡的时间,提高了效率另一方面减少了气体的消耗,节约了成本。此外,在仓体侧面开有一可视透明小窗口,可以通过此处检查气体放电的情况。
射频等离子产生系统
射频等离子产生系统包括射频电源和射频匹配网络,射频电源是等离子体放电的关键设备,等离子体反应器是利用其提供的能量,生成电子、离子等活性粒子,即等离子体。在电源的参数选择方面,工作频率为,射频输出功率为一的可调区间,主系统电源电压为士,外接线路工频为一,采用三相四线接法
真空系统
低压等离子放电相对于常压等离子放电,放电更稳定,粒子的自由程更长,等离子的活性更强,温度更低,对高精密仪器的清洗伤害更小,放电开始前需对反应仓体进行抽真空,使用真空泵对仓体进行抽真空,极限真空度小于或等于,真空泵在清洗物体放入后启动,并在清洗过程中一直运行,保证仓体内压力稳定在一个范围内。
上、下料传动系统
上下料系统主要由机械手、传送带、升降机和滑动导轨组成,在上下料系统中料盒可在竖直方向和水平方向移动。竖直方向移动由升降伺服电机带动升降平台实现,升降平台与料盒一起做竖直运动。水平方向移动由水平伺服电机带动料盒安装板实现,机械手传送机构完成物料的传送。
