产品参数：
| 型号 | TS-PL1900 |
|
设备外形尺寸 |
W1920×D1450×H2050(mm){不含三色灯高度} |
|
腔体尺寸 |
W1110xD1200xH1450(mm) |
|
腔体容量 |
1900 升 |
|
载物托盘/数量 |
铝托盘/4 层 |
|
等离子电源 |
40KHz/40KW |
|
气体流量控制 |
0-2000mL/m MFC 气体质量流量计精确控制流量 |
|
反应气体 |
2 路（氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体） |
|
工作真空度 |
20-60Pa |
|
整机功率 |
约60KW |
| 电源 |
AC380V,50/60Hz，三相五线 |
产品视频：
