真空等离子清洗机工作流程及等离子体与材料表...

真空等离子清洗机一般有真空室、真空泵、高频电源、电极、气体导入系统、工件传送系统和控制系统等部分组成。

真空等离子清洗机工作流程如下：

1、被清洗的工件送入真空室并加以固定，设置工作参数，启动运行装置，开始抽真空，是真空室内的真空程度达到10PA左右的标准真空度。

2、向真空室引入等离子清洗用的气体，并使其压力保持在100Pa。根据清洗材质的不同，可分贝选用氧气、氢气、氩气、或氮气等气体。

3、在真空室内的电极和接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿，并通过辉光放电而发生离子化和产生等离子体。让在真空室产生的等离子体完全笼罩在被处理工件，开始清洗作业。一般清洗处理持续几十秒到几分钟，看材质和需求。

4、清洗完毕后切断高频电压，并将气体及气化的污垢通过真空泵抽走排除。

等离子体和工件表面具体作用如下：

等离子体和工件表面的化学反应和常规化学反应有很大不同，由于高速电子的轰击，很多在常温下很稳定的气体或蒸汽都可以以等离子体的形式和工件表面反应，产生许多奇特的、有用的效果；

清洗和刻蚀：例如，在进行清洗时，工作气体往往用氧气，它被加速了的电子轰击成氧离子、自由基后，氧化性极强。工件表面的污染物，如油脂、助焊剂、感光膜、脱模剂、冲床油等，很快就会被氧化成二氧化碳和水，而被真空泵抽走，从而达到清洁表面，改善浸润性和粘结性的目的。低温等离子处理仅涉及材料的表面，不会对材料主体的性质产生影响。由于等离子体清洗是在高真空下进行的，所以等离子体中的各种活性离子的自由程很长，他们的穿透和渗透力很强，可以进行复杂结构的处理，包括细管和盲孔。

引入官能基团：高分子材料用N2、NH3、O2、SO2等气体的等离子体处理，可以改变表面的化学组成，引入相应新的官能基团：-NH2、-OH、-COOH、-SO3H等。这些官能团可使聚乙烯，聚丙烯，聚苯乙烯，聚四氟乙烯等这些完全惰性的基材变成官能团材料，可以提高表面极性，浸润性，可粘结性，反应性，极大地提高了其使用价值。与氧等离子体相反，而经含氟气体的低温等离子体处理，可在基材表面引入氟原子，使基材具有憎水性。

聚合：很多乙烯基单体，如，乙烯、苯乙烯、都可以在等离子体条件下，不要其他任何催化剂和引发剂而在工件表面实现，聚合，甚至甲烷，乙烷，苯这些在常规聚合条件下不能聚合的物质，都可以在等离子体条件下在工件表面实现交联聚合。这种聚合层可以达到非常致密，并且和基材结合的非常结实。在国外塑料啤酒瓶和汽车油箱就采用等离子体聚合上这样一层致密层，用以防治微量的泄露。高分子的生物医学材料表面也可以通过这种致密层阻止塑料中的增塑剂等有毒物质向人体组织中扩散。