小型石英等离子清洗机安装与操作说明

小型石英等离子清洗机设备安装与操作使用说明如下：

5.1初始安装时,遵循下列步骤：

第一步： 连接好等离子清洗机与真空泵之间的真空管路,紧固好O型卡和锁紧帽,做到连接处密封且不漏气。

第二步： 接通供电电源和真空泵电源,在此之前检查所有按钮必须处于复位状态,同时检查所供电源插座的L、N、E的接线是否与机箱后的AC220V输入插头相一致，以免发生危险动作。

第三步： 第一次开机,不做其它操作，直接打开机体上红色电源开关、真空泵开关，轻轻推关腔门，然后按绿色启动键抽真空，目的是去潮除湿，同时检查是否有漏气部位：听漏气声响；拉动真空仓门是否密封；观察压力表到达-100Kpa左右；若无上述状况即为正常

第四步： A、打开电源，先在显示屏里设定清洗时间；

B、将托盘承载的产品放入反应室内；

C、轻推反应腔门，按面板上绿色启动开关，真空泵开始工作。

D、压力表真空值-101KPa左右，看到离子辉光放电现象，进入处理状态；同时可设定功率大小、反应气体注入量；（反应气体是根据工艺需求选配，不使用时锁紧关闭，）

5.3 使用操作步骤

5.3.1 自动状态下运行处理

（图5.3.1主机界面）

（图5.3.2功能画面）

（图5.3.3参数画面）

1. 进入“主机界面”（图5.3.1主机界面），点击“下一页”进入“功能画面”（图5.3.2功能画面）选择“参数页面”（图5.3.3参数画面）修改清洗时间或清除清洗数据。

2. 点击“下一页”进入“手动页面”将氧气氩气阀门设置为打开状态，返回主机界面。

3. 调节功率，功率调节范围80%-100%，根据实验需求进行调节。

4. 将被处理物放置真空腔内，关好腔门，按下启动按钮，开始抽真空。

5. 待腔体产生辉光，根据实验需求，手动调节流量计旋钮添加辅助性气体。

6. 到达处理时间后，平衡阀自动复原，3秒左右恢复常压，无进气声响时，腔门自动打开。

7. 打开腔门，取出被处理物，一个处理过程结束。

____以上各命令都可在键下终止，回到复位状态。所有数字量都可自由调整，确认键后记忆保存，断电不丢。

5.4手动状态下运行处理

（5.4.1手动状态下操作页面）

1. 调节功率，功率调节范围80%-100%，根据实验需求进行调节。

2. 将被处理物体放置到仓内，关好仓门，按下启动钮，开始抽真空。

3. 真空度达到要求时，按下射频电源钮（打开状态为：黄色灯亮“开”），加入射频高压，处理过程开始。

4. 待腔体产生辉光，根据实验需求，打开氧气氩气阀门开关（打开状态为：黄色灯亮“开”），手动调节流量计旋钮添加辅助性气体。

5. 到达处理时间后，复原平衡阀钮，3秒左右恢复常压，无进气声响时，腔门自动打开。

6. 打开腔门，取出被处理物，一个处理过程结束。

在手动状态下，可设定氧气阀、氩气阀、真空泵、射频电源、平衡阀的开关选择，进行数据工作。

5.5气体使用注意事项：

①在触摸屏的手动画面打开气阀；

②腔内激发辉光后，再扭开流量计注入；

③两路气体，机体前面板上的流量计与机体背面的气孔口为对应一致接入工作；