5L小型等离子清洗机

产品参数：

TS-PL05产品特点：

密封性卓越的真空腔体设计，军工级的高真空度真空腔体设计及制造工艺，并配置进口技术真空泵运行。

两种工艺气体配置(氩气、氧气），可选择多种反应气体,双路气流控制，比例可调，采用高精度浮子流量计、美国世维洛克气体管路及阀件。

0~99.9小时选择范围时间显示，处理过程结束后自动终止。

触摸屏操作，方便快捷，可选择手动或自动操作模式。

采用气体作为清洗介质，成本低，干式清洗更加环保。

工艺说明：

工艺气体

一般在等离子清洗中，可把活化气体分为两 类，一类为惰性气体的等离子体（Ar₂、N₂ 等）； 另一类为反应性气体的等离子体（如O₂、H₂等）。以氩等离子为例，在一个物理过程 中，在氩等离子中产生的离子会以足够的能量辐 射表面，去掉表面污物。带正电的氩等离子将被 吸引到在真空舱体的负极板。由于高能等离子撞 击，撞击力足以去除表面上的任何污垢，随后污 垢通过真空泵以气体形式排出。

功率

通过提高等离子处理的功率，可增加等离子体的密度和能量，从而加快等离子处理的速度。 等离子体密度是单位体积内所包含的等离子体的数量。等离子体能量定义了等离子体进行表面物 理轰击的能力。

时间

工艺时间的长短与功率、气体流量和气体类型相关。以在PGBA基板上提高引线的键合能力为例，一个短时间的等离子处理，引线的键合强度相对于未处理前只提高了2%；但是将处理时间增加1/3，引线的键合强度将比未处理前提高20%。这里应该指出的是，过长的工艺时间并不总是可以提高材料的表面活性。从提高生产效率这方面出发，还应尽量减少工艺时间，这在大批量生产中尤为重要。

实际上，在整个等离子处理过程中，影响处理效果的要素还包括过程温度、气体分配、真空度、电极设置、静电保护等。