产品参数：
| 型号 |
TS-SY05 |
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控制系统 |
PLC+触摸屏 |
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供电电源 |
AC220V（±10V） |
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工作电流 |
整机工作电流不大于 1.2A（不含真空泵电流） |
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电源功率 |
200W（60%-100%连续可调） |
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频率偏移量 |
小于 0.2KHz |
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气体流量计 |
0-500ml/min(2路气体可调) |
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气体流量控制 |
精密针阀式浮子流量计（2路） |
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过程控制 |
自动与手动方式 |
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清洗时间 |
1-9999s 可调 |
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真空度 |
＜80Pa |
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内腔尺寸（圆形） |
φ160（直径）*210（深度）mm |
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腔体材质 |
石英玻璃 |
TS-SY05产品特点：
内置两路气路，气体流量可调，无需再搭配气体混合仪 专利软件、触摸屏控制，操作简易，智能化设计，避免误操作 实时观察腔体压力变化情况， 电流、电压实时监测，确保仪器稳定安全运行 石英材质真空腔体不与等离子体产生反应，不会污染样品 配备的真空泵噪音和油气污染小，真空度高 全程干燥的处理方式，不消耗水资源、无需添加化学药剂、不产生污染
常见应用：：
石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末杂质和油质，增加石墨烯表面亲水基团（-OH）提高亲水性 金属工件油污等离子清洗，不损伤样品，去除表面油污 PDMS等离子活化改性，提升亲水性和键合力 ITO导电玻璃亲水性处理并提高其功函数 硅片亲水性处理，改性、活化表面
