东信高科真空等离子清洗机系统维护及保养

东信高科等离子清洗机系统维护及保养手册

9.3.1检查真空系统油泵和鼓风机

许多与真空系统相关的问题都出自真空泵油。为了确认它在一个适当的水平和是否无污染，定期检查石油水平是非常有必要的。脏和石油不足都会导致较差的真空泵性能。污油也会性能降低。

一些等离子体的处理可能会造成更大程度的泵油污染，因此额外的个人防护设备是有必要的。

泵油应该被更换至少一年一次，如果机器得到大量使用，这将造成大量的污油，因此泵油尽可能的每两个月更换一次，并且泵油要每个月至少检查一次。

检查泵油,执行下面的步骤:

1.关掉装置

2.打开前门

3.定位泵油位窥镜,并确保石油水平在最大值和最小值之间。

注意：泵油是一种对皮肤和眼睛的刺激物，在更换泵油的时候要注意个人防护措施。

更换泵油,执行下面的步骤:

1.等待15分钟是泵油稍微冷却然后操作，泵油不可过冷，不然会不好移除。

2.排泄石油压强，使之达到标准大气压强

3.断开泵油系统，用干氮清除泵内残留有毒或含腐蚀性气体。

4.向泵油塞方向倾斜

5.旋松排油管,泻油。

6.安好泵塞运行泵大约10秒钟，打开进气口这会使泵油从泵中移除。

7.再次通过移除塞泻油。

8.换好新的泵油然后上好泵塞。

注意：换油时一定要关闭等离子体系统电源。

9.3.2 检测真空泄漏

真空泄漏常常可以发现通过使用异丙醇。通过擦洗挥发性液体检查可疑部件，真空泄露会吸入蒸汽从而导致显示面板上压力增大，增加5毫托或更多的，表示存在一个错误的真空组件或连接。检测小泄漏保持流动的异丙醇的组件或连接约10是有必要的。小泄漏将不会显示快速变湿，流动的异丙醇应该覆盖在整个相关组件上，当使用异丙醇是应避免接触任何有标签的部位，因为可能会导致刻字消失

9.3.3清洗反应室

使用者应该每天检查任何污垢和外来物质。

当清洗机室时使用手套和保护眼睛

警告:清洗机室后,总是产生纯氩或氧等离子体应该在高功率下消除至少15分钟确保清洁室无视觉迹象

1.泵室减少到最低可以达到的压力并且记录数据。

2.在4000瓦和300毫托条件下生成氧等离子体15分钟

3.在4000瓦和250毫托条件下生成氧等离子体15分钟

4.泵室第二次减少到最低可以达到的压力并且记录数据，比较这个值和第一个值，一个显著减少在两比较之间则暗示清洁室发生了故障在等离子机运行工作时。

5.重复这个过程,直到没有明显区别是指出最低基地压力从一个测试值到下一个。

注意：使用CF4或类似的气体会引起涂料的反应室和它的组件与这些气体的副产品，当使用这些类型的气体处理等离子机时，清洗方案必须经常重复直至删除副产品，因为他们将很容易再沉积到干净的表面。

9.3.4  检查真空装置的完整性

有必要定期检查真空系统的完整性，这种检查应该在彻底的清洗反应室之后，以避免污染物或者真空脱气泄露。

手动检查步骤：

1.在主菜单中,按手动模式按钮来选择手动模式

2.在手动模式屏幕,按下真空开/关按钮打开真空阀室

3.观察基础气压，读取列表在屏幕右边，在5分钟内它应该低于100毫托。

4.等20分钟,使任何残留的水分退出系统。

5.记录最终的压力。

6.按下真空开/关按钮来关闭真空阀到室。

7.观察基础压力。

如果系统没有真空密闭的，压力值会慢慢上升，根据泄露比例系统压力上升不会超过30豪托每分钟。

为了确保最佳性能和系统的优良性能，应该成功的运行真空系统进行检测，如果任何不符合点被检查出，应该及时检查室垫圈（在塑料门附近）。有时灰尘和污染物覆盖在垫片上，也要检查连接在里面的电子内阁是否有明显的损坏或泄露。

9.3.5 检查输气管道完整性

确定气线的完整性，只需打开气瓶的阀，并很快再次关闭它。如果压力读数在一分钟内调节值，有大量泄漏，可能是危险的。

9.3.6 检查电源连接

所有的等离子体系统的运作，利用双浮动功率输出每个输出总线电极的母线连接电极是由一个不锈钢夹和一个M –4螺钉，螺钉应定期检查密封性保证电极的母线连接的安全性

9.3.7清洗风机过滤器

风扇和过滤器，位于系统的顶部和底部，保护系统，需要定期清洗去除灰尘和皮棉。堵塞的过滤器，会导致热量积聚。

清洁过滤器执行以下步骤：

1.通过拆除四个螺丝分离过滤器的风扇。

2.用压缩空气吹洗过滤器，如果过滤器非常脏，需要用肥皂水清洗然后用压缩空气吹洗。

3.更换垫片和过滤器，确保螺丝孔窝，突出的屏幕的一侧是朝外。（过滤器应被检查清洗每月一次，这个任务可能在大约二十分钟。技术援助或更换零件，请联系等离子体系统的客户服务部）。

9.3.8检查室门垫圈

保持性能良好的真空反应室，室门垫圈是必不可少的

警告:潜在的燃烧危险!

警告:反应室垫圈会导致系统真空泄漏。当检查有任何裂纹或碎片在密封表面和外部密封焊道里面。请及时更换。这个垫圈的平均寿命是8到12个月。

检查室垫片,执行下面的步骤:

1 从反应室小心的把垫片移除下来。

2 拉开双方检查裂缝内密封表面。如果有裂缝,无论多么小,都要更换密封垫。

3 检查在外面密封焊道上是否有裂缝。如果有发现,更换密封垫。

4 检查垫圈外是否有破碎小颗粒。如果有必须清洗垫圈。垫圈可以用温肥皂水清洗后，再使用酒精进行一个彻底的清洗。

5 检查垫圈是否有恶化症状。这是一种粉状物质,通常在表面的垫片。重度恶化会使垫圈会变得脆弱。这些表明,硅橡胶被破坏了。垫圈可以清洗(第4步中所述) 只要不存在裂缝可以一直使用。

9.3.9 观察窗口/ 机器维护

观察窗口由玻璃制成(12.7毫米厚)。如它需要更换时请联系东信高科工程技术人员。

9.3.10 射频发生器维护

定期检查后面的装置是否有灰尘或被腐蚀。

每六(6)个月检查一次是否有松散的电气连接。

9.3.11 电极维护

1 电极是一个有磨损项目。适当的维护，可以使电极的寿命扩展到最大的预期使用。

2 当浆水用于处理烃类原料，薄涂层残留往往停留在电极一段时间。在早期阶段，这种涂层不影响运行的设备和最后的产品。但在在连续操作下，微妙但重大的变化可以被检测到

3 确保正确操作设备，我们建议电极每6月或1000小时操作就进行一次污染处理。使用以下过程，消除污染不影响电极的性能。

材料要求

氢氧化钠

硫酸

蒸馏水

注意：这些材料腐蚀性，有毒和危险。

只有经过适当的安全预防措施的有相应的训练的人员才能进行处理。不要使用任何机械清洁电极，如钢丝刷，砂纸，或研磨抛丸这将导致泄漏和/或缩短他们的生命。

清洁电极:

1、确定每个电极下负极，使它们可以被安装在正确的位置

2、取出电极，轻轻擦试污染物，使其完全干燥。

3、正确组装电极。